等離子蝕刻機廣泛應用于等離子刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場合通過其處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。在等離子刻蝕過程中，通過處理氣體的作用，被刻蝕物會變成氣相，處理氣體和基體物質被真空泵抽出，表面連續被新鮮的處理氣體覆蓋，所以，不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來。
 

　　等離子蝕刻機的工作原理：等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產生的物質。等離子清洗/刻蝕產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電磁場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也越來越長，受磁場作用，發生碰撞而形成等離子體，同時會發生輝光·等離子體在電磁場內空間運動，并轟擊被處理物體表面，從而達到表面處理、清洗和刻蝕的效果。
 

　　等離子蝕刻機等離子表面處理的效果可以簡單地用滴水來驗證，處理過的樣品表面*被水潤濕。長時間的等離子處理，材料表面不但被活化還會被刻蝕，刻蝕表面具有極小的表面接觸角和最大潤濕能力。等離子方法也用于刻蝕塑料表面，通過氧氣可以灰化填充混合物，同時得到分布分析情況。刻蝕方法在塑料印刷和粘合時作為預處理手段是十分重要的，如POM、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地增加粘合潤濕面積提高粘合強度。