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          bruker Dektak Pro臺階儀介紹

          更新時間:2025-01-13瀏覽:180次

          Bruker Dektak Pro布魯克臺階儀

          Dektak Pro™ 以其多功能,使用的便捷性和在薄膜厚度、臺階高度、應力、表面粗糙度和晶圓翹曲測量方面廣受贊許。第十一代Dektak®系統,具有4?重復性的表現,并提供200毫米平臺選項,在科研以及工業領域中可以為材料的表面形貌提供各種分析。Dektak Pro在表面測量方面設立了新的目標,是微電子技術、薄膜與涂層和生命科學應用的理想選擇。


          Dektak Pro可提供:
          測量和分析功能,確保 每次都能獲得準確、嚴謹的數據
          多功能性和便捷性,精簡的軟件和簡便的探針更換
          通過直驅掃描平臺和軟件進步,減少獲得結果的時間
           

          Dektak Pro產品參數

          測量技術探針輪廓測量(接觸測量)
          測量功能二維表面輪廓測量;可選三維測量
          樣品視野可選放大倍率, 0.275到2.2 mm 
          探針傳感器
          低慣量傳感器(LIS 3)
          探針壓力
          1到15 mg,使用LIS 3傳感器
          低作用力
          N-Lite+ 精微力傳感器,0.03到15 mg(可選)
          探針選項
          探針半徑選項從50 nm到25 μm;
          高徑比(HAR)針尖200 μm x 20 μm;
          可根據客戶要求提供定制針尖
          樣品臺 XY載物臺
          手動100 mm(4"),手動調平;
          電動150 mm(6"),手動調平;
          帶編碼器電動200 mm(8"),手動調平
          樣品旋轉臺
          手動或自動,連續360°
          減震裝置
          減震裝置可用(選配)
          掃描長度范圍
          55 mm(2");200 mm(8")具備掃描拼接能力
          每次掃描數據點
          可達120,000個數據點
          樣品厚度可達
          50 mm (1.95")
          晶圓尺寸可達
          200 mm (8")
          臺階高度重復性
          4 ?, 1 sigma ( ≤1 μm 標準臺階樣品)
          垂直范圍
          1 mm (0.039")
          垂直分辨率
          1 ? (@ 6.55 μm 范圍)
          輸入電壓
          100 到 240 VAC, 50 到 60 Hz
          溫度范圍
          工作范圍20到 25°C (68 到 77oF)
          濕度范圍
          ≤80%, 無冷凝
          系統尺寸與重量
          尺寸:455 mm W x 550 mm D x 370 mm H(17.9" W x 22.6" D x 14.5" H);
          重量:34 kg(75 lb);
          外殼尺寸:550 mm L x 585 mm W x 445 mm H(21.6" L
          x 23" W x 17.5" H);
          外殼重量:5.0 kg(11 lb)


           

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