一、控制：

Windows PC人機(jī)交互操軟件，多種語言（含中文），用戶密碼登陸管理權(quán)限，工藝二維折線圖實(shí)時(shí)顯示，一鍵回復(fù)原廠設(shè)置，數(shù)據(jù)備份與還原功能，數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ)和導(dǎo)入導(dǎo)出功能，可儲(chǔ)存100套工藝參數(shù)

二、原料：沉積Parylene N、C、F-VT4型

三、沉積厚度：0.05~30um

四、沉積室直徑300mm,深度300mm

五、轉(zhuǎn)盤直徑250mm,高度280mm，轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速0~100%可調(diào)節(jié)

六、集成硅烷蒸發(fā)模塊，壓力與溫度PID控制，實(shí)現(xiàn)Parylene涂層前硅烷沉積功能，可設(shè)定蒸發(fā)器預(yù)加熱溫度，到達(dá)設(shè)定加熱溫度后，開始硅烷蒸發(fā)程序，同時(shí)通過腔體壓力判斷檢測硅烷蒸發(fā)量

七、溫度控制系統(tǒng)：

1.裝料艙門溫度實(shí)時(shí)顯示設(shè)定范圍：室溫~200°C

2.蒸發(fā)器溫度實(shí)時(shí)顯示設(shè)定范圍：室溫~200°C

3.裂解艙溫度實(shí)時(shí)顯示設(shè)定溫度范圍：室溫~850°C

4.沉積室溫度實(shí)時(shí)顯示設(shè)定溫度范圍: 室溫~200°C

5.硅烷蒸發(fā)器及管道溫度設(shè)定范圍：室溫~200°C

八、真空系統(tǒng)：

1.沉積室真空壓力檢測

2.真空泵壓力檢測

3.配有慢速抽氣模塊，可以設(shè)定慢速抽真空的時(shí)間；

4.雙級(jí)油式旋片泵，排氣速度60m3/H，極限真空泵小于1*10-3mbar，噪音52bB(A),電源AC230V

九、多重報(bào)警與報(bào)警設(shè)定功能：

1.可設(shè)定蒸發(fā)器壓力最大偏差、門溫度最大偏差、裂解管溫度最大偏差、壓力傳感器溫度最大偏差、腔體溫度最大偏差、硅烷蒸發(fā)器溫度最大偏差、硅烷管路1溫度最大偏差值；

2.保養(yǎng)周期報(bào)警提示；

3.轉(zhuǎn)盤位置錯(cuò)誤報(bào)警；

4．詳細(xì)的報(bào)警描述，方便判斷報(bào)警原因；

十、冷卻方式：

液氮和冷阱頭兩種方式

冷阱頭冷卻方式：風(fēng)冷

冷阱頭低溫度-100°C，冷頭尺寸：直徑50mm, 長度380mm

RS485通訊模塊，可以與主機(jī)通訊

冷阱尺寸：W600xD550xH1200mm

十一、尺寸與電源

1. 外形尺寸：W1200xD700xH1100mm(不含真空泵與冷阱)

2. 電源：AC380V 3P 32A

如有需要diener plasma設(shè)備 ，可聯(lián)系上海爾迪儀器科技有限公司