低溫等離子處理設備常應用于惡臭氣體治理，具有處理效果好(幾乎可以處理目前常見的各種惡臭氣體)、運行費用低廉、無二次污染、運行穩定操作管理簡便即開即用等優點。該技術可廣泛應用于石油化工、制藥、食品、污水處理廠、涂料、皮革加工、感光材料、汽車制造等諸多行業有機廢氣的治理以及采用其它方法很難解決的廢氣的治理。低溫等離子體產生方式主要有兩種放電方式，分別是電暈形式和戒指阻擋形式。根據處理廢氣的濃度和所含污染物的類型來選擇合適的放電方式。
 

　　隨著科技的進步，低溫等離子處理設備在現代工業上高速發展，選擇它原因也很簡單，它的操作簡單、工作效率高、低成本、環保且去膠后表面光潔。那么，設備在使用中有哪些因素要注意？
 

　　一、調整合適的頻率：頻率越高，氧越易電離構成等離子體。頻率太高，以致電子振幅比其平均自由程還短，則電子與氣體分子磕碰概率反而減少，使電離率降低。
 

　　二、調整合適功率：關于必定量的氣體，功率大，等離子體中的的活性粒子密度也大，去膠速度也快；但當功率增大到必定值，反響所能耗費的活性離子到達飽滿，功率再大，去膠速度則無顯著添加。由于功率大，基片溫度高，所以應根據技術需求調理功率。
 

　　三、調整適合的真空度：恰當的真空度，可使電子運動的平均自由程變大，因而從電場取得的能量就大，有利電離。別的當氧氣流量必守時，真空度越高，則氧的相對份額就大，發生的活性粒子濃度也就大。但若真空度過高，活性粒子濃度反而會減小。
 

　　四、氧氣流量的調整：氧氣流量大，活性粒子密度大，去膠速率加速；但流量太大，則離子的復合概率增大，電子運動的平均自由程縮短，電離強度反而降低。若反響室壓力不變，流量增大，則被抽出的氣體量也添加，其間尚沒參與反響的活性粒子抽出量也隨之添加，因而流量添加對去膠速率的影響也就不甚顯著。
 

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